TICEM - ¼ö¿ø´ëÇб³ ÀüÀÚºÎÇ°¼ÒÀç±â¼úÇõ½Å¼¾ÅÍ

ȸ¿ø·Î±×ÀÎ
°ü¸®ÀÚ´Ô²²¼­ ³²±â½Å ±ÛÀÔ´Ï´Ù.
È­ÀÏ ¼¼ºÎÀÔÂû_Spec.hwp [35.12 KB]
È­ÀÏ ÀÔÂûµî·Ï±¸ºñ¼­·ù.hwp [61.33 KB]
[³»ÀÚÀÔÂû°ø°í]Spin Coater and Development System ±¸¸ÅÀÔÂû°ø°í

°ø°í¹øÈ£ Á¦2004-01È£

1. ÀÔÂû»çÇ× : Spin Coat and Development System
                                  (Ç׸ñ#10 ÀÔÂû ¼¼ºÎSpec ÂüÁ¶)

2. µî·Ï ¸¶°¨ÀϽà : 2004. 4.  6.(È­) 18:00 µµÂøºÐ¿¡ ÇÑÇÔ
                                  (Àå ¼Ò : ´ç ¼¾ÅÍ ÇàÁ¤½Ç)

3. ÀÔÂûÀû°Ý ¾÷ü°ø°í : 2004. 4.  7.(¼ö) 18:00

4. ÀÔÂûÀϽà : 2004. 4.  8.(¸ñ) 14:00

5. Àå ¼Ò : ´ç ¼¾ÅÍ ¼¼¹Ì³ª½Ç
                                   (¼ö¿ø´ëÇб³ °í¿î°úÇÐ÷´Ü¼¾ÅÍ 6F TIC³» À§Ä¡)

6. ÀÔÂû¹æ¹ý : ÀϹݰø°³ °æÀïÀÔÂû

7. ÀÔÂû °áÁ¤
   1) ÃÖÀú°¡ °æÀï ÀÔÂû
   2) µ¿ÀÏ ±Ý¾× ¹ß»ý½Ã ¼ö¿ø´ëTIC ³³Ç° ½ÇÀûº¸À¯ ¾÷ü ¿ì¼±
   3) ¼ö¿ø´ëTIC ³³Ç°½ÇÀûÀÌ ¾ø´Â °æ¿ì (¼øÂ÷Àû)
- ±¹»êÈ­ Àåºñ ¿ì¼±
- ³³Ç°½ÇÀûÀÌ ¸¹Àº ¾÷ü ¿ì¼±
- Áß¼Ò±â¾÷ ¿ì¼±(¼ö¿ø´ëTIC ¼³¸³¸ñÀû¿¡ ±Ù°Å)

8. ÀÔÂûÂü°¡ ½Åû¼­·ù

1) ÀÔÂûÂü°¡ ½Åû¼­(´ç ¼¾ÅÍ ¼ÒÁ¤¾ç½Ä) 1 ºÎ
2) Àåºñ Specification(component maker/code), Catalog, Utility
   (Àü±â,¹è°ü,°¡½º, Exhaustµî) °³º°µµ¸é
3) »ç¾÷ÀÚ µî·ÏÁõ »çº» 1 ºÎ
4) ¹ýÀεî±âºÎ µîº»(¹ýÀÎ) 1 ºÎ
5) Àΰ¨Áõ¸í¼­(ÀÔÂû¿ë) 1 ºÎ
6) ½Ã¼¼ ¹× ±¹¼¼ ¿Ï³³ Áõ¸í¿ø 1 ºÎ
7) »ç¿ë Àΰ¨°è 1 ºÎ

9. ÀÔÂûÂü°¡ÀÚ°Ý
   1) ±¹°¡¸¦ ´ç»çÀÚ·Î ÇÏ´Â °è¾à¿¡ °üÇÑ ¹ý·ü ½ÃÇà±ÔÄ¢ Á¦14Á¶¿¡ ±ÔÁ¤¿¡ ÀûÇÕÇÑ ÀÚ
   2) ´ç ¼¾ÅÍ¿¡¼­ Á¦½ÃÇÑ ÀÔÂûÀ¯ÀǼ­, °è¾àÁ¶°ÇÀ» ½Â³«ÇÏ°í ¼ÒÁ¤ÀÇ ¼­·ù¸¦
       ±¸ºñÇÏ¿© µî·ÏÇÑÀÚ
   3) ´ë¿Ü¹«¿ª¹ý ¶Ç´Â ¹«¿ª´ë¸®¾÷À¸·Î µî·ÏÇÑ Àڷμ­ »ý»êÀÚ¿Í ´ë¸®Á¡°è¾àÀ»
       ¸Î°í ÀÖ´Â ÀÚ
   4) ÃÖ±Ù 1³â°£ ±¹³» ±¹¡¤°ø¸³¿¬±¸¼Ò ¹× ´ë±â¾÷¿¡ Spin Coat and Development
       ³³Ç°½ÇÀûÀ» º¸À¯ÇÑ ÀÚ.

10. ÀÔÂûº¸Áõ±Ý :  ÀÔÂû±Ý¾×ÀÇ 5/100ÀÌ»ó Çö±Ý(½ÃÁßÀºÇà ¹ßÇà ÀÚ±â¾Õ ¼öÇ¥ Æ÷ÇÔ),
                ±¹Ã¤ ¶Ç´Â º¸Áõº¸ÇèÀÌÇàÁõ±Ç

11. ¼¼ºÎ ÀÔÂû Spec : ÷ºÎÈ­ÀÏÂüÁ¶

* ÷ºÎÈ­ÀÏ : ¼¼ºÎ ÀÔÂû Spec.
                   ÀÔÂûµî·Ï±¸ºñ¼­·ù

¹®ÀÇó : 031)223-2663¡­4,
´ã´ç : ÀÌÁø¹Î

IP Address : 210.123.48.207 
 
ÀÌÀü±Û SPM(AFM)¿øÀÚÇö¹Ì°æ ¼³Ä¡ °ü¸®ÀÚ 2004/05/06
´ÙÀ½±Û [°øÁö]°æ±âÁß¼Ò±â¾÷Áö¿ø¼¾ÅÍ ½ÃÇèºÐ¼® Áö¿ø»ç¾÷ °ü¸®ÀÚ 2004/03/22


Orign skin by ½ÅÀÇÅ°½º