Á¦¸ñ ¾øÀ½
Çѱ¹±âÃÊ°úÇÐ Áö¿ø¿¬±¸¿ø¿¡¼´Â 2007³â °í°¡Æ¯¼ö¿¬±¸±â±â Áö¿ø»ç¾÷ "»ç¿ë·á Áö¿ø" À» ¾Æ·¡¿Í °°ÀÌ ½Ç½ÃÇÕ´Ï´Ù.
¾÷ü ¹× ´ëÇÐ, ¿¬±¸¼ÒÀÇ ¸¹Àº ÀÌ¿ë¹Ù¶ø´Ï´Ù.
1. »ç¾÷±â°£ : 2006.04.01~2007.02.28
* ´Ü ½Ã¾÷¿¹»ê ¼ÒÁø½Ã »ç¾÷Á¾·á
2. ¼ö¿ø´ë TIC "»ç¿ë·á Áö¿ø" Àåºñ¸í
- Sputter
- Dry Etcher
- Mask Aligner
- Auto Spin Coater
- Oxidation Furnace
3. »ç¿ë·á ÇÒÀÎÀ² Àû¿ëÀ²(%)
- ´ëÇÐ ¹× ¿¬±¸¼Ò »ç¿ëÀÚ : ÇØ´çÀåºñ »ç¿ë½Åû °Ç¼öº° ÃÑ »ç¿ë·áÀÇ 30% ÇÒÀÎÀ² Àû¿ë
- º¥Ã³ ¹× Áß¼Ò±â¾÷ : ÇØ´çÀåºñ »ç¿ë½Åû °Ç¼öº° ÃÑ »ç¿ë·áÀÇ 50% ÇÒÀÎÀ² Àû¿ë
¡Ø Áö¿ªÁ¦ÇÑÀÌ ¾øÀ¸¸ç, ½Åû¾ç½ÄÀº ÷ºÎÈÀÏÀ» ÂüÁ¶ÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
±âŸ ¹®ÀÇ»çÇ×Àº ¼ö¿ø´ë TIC ·Î ¹®ÀÇ ¹Ù¶ø´Ï´Ù.
|